一种基于CMUT 的超低量程压力传感器及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210068681.6

申请日：

2012-03-15

公开(公告)号：

CN102620864A

公开(公告)日：

2012-08-01

发明(设计)人：

蒋庄德李支康赵立波赵玉龙苑国英

申请人：

申请人地址：

710049 陕西省西安市咸宁西路28号

IPC主分类号：

G01L118

IPC分类号：

B81B300 B81C100

代理机构：

西安通大专利代理有限责任公司 61200

代理人：

徐文权

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-11-05	授权	授权
2012-08-01	公开	公开
2012-09-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101329711067 IPC(主分类):G01L 1/18 专利申请号:2012100686816 申请日:20120315

共 50 条

[1]

一种高温CMUT压力传感器及其制备方法 [P].

赵立波 ;

李支康 ;

蒋庄德 ;

叶志英 ;

王久洪 ;

王苑 ;

赵玉龙 ;

苑国英 .

中国专利 :CN103196613B ,2013-07-10

[2]

一种压力传感器及其制备方法 [P].

许志 .

中国专利 :CN113155329A ,2021-07-23

[3]

微型电容式压力传感器及其制备方法 [P].

何常德 ;

杨玉华 ;

张文栋 ;

薛鹏飞 ;

张金亮 ;

张国军 ;

王红亮 ;

王任鑫 ;

崔建功 ;

贾利成 ;

孙帅文 ;

吴帅琦 .

中国专利 :CN119290243A ,2025-01-10

[4]

一种基于CMUT的生化传感器及其制备方法 [P].

赵立波 ;

李支康 ;

蒋庄德 ;

张桂铭 ;

黄恩泽 ;

郭鑫 ;

赵玉龙 .

中国专利 :CN102520032B ,2012-06-27

[5]

一种柔性压力传感器及其制备方法 [P].

刘国栋 ;

郑娜 ;

肖国辉 .

中国专利 :CN106959176B ,2017-07-18

[6]

一种柔性压力传感器及其制备方法 [P].

张莹莹 ;

蹇木强 ;

夏凯伦 .

中国专利 :CN106531733A ,2017-03-22

[7]

一种宽量程柔性压力传感器及其制备方法 [P].

肖建亮 ;

王珊 ;

马庶祺 .

中国专利 :CN117030079B ,2024-02-23

[8]

压力传感器、压力传感器阵列及其制备方法 [P].

郭小军 ;

陈苏杰 ;

唐伟 ;

赵家庆 .

中国专利 :CN107843364A ,2018-03-27

[9]

一种压力传感器及其制备方法 [P].

杨与畅 .

中国专利 :CN106168515A ,2016-11-30

[10]

一种柔性薄膜压力传感器及其制备方法 [P].

张燕军 ;

孙晨 ;

杨坚 ;

吴伟伟 ;

缪宏 ;

高吉成 ;

张善文 ;

戴敏 .

中国专利 :CN117451222A ,2024-01-26

← 1 2 3 4 5 →