单晶硅棒清洗脱胶装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821453914.3

申请日：

2018-09-06

公开(公告)号：

CN208810723U

公开(公告)日：

2019-05-03

发明(设计)人：

邱小永

申请人：

申请人地址：

313009 浙江省湖州市吴兴区织里镇珍贝路800号

IPC主分类号：

B08B312

IPC分类号：

B08B302 B08B314 B08B310 B08B1300

代理机构：

杭州新源专利事务所(普通合伙) 33234

代理人：

李大刚

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-03	授权	授权
2020-08-21	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 3/12 申请日:20180906 授权公告日:20190503 终止日期:20190906

共 50 条

[1]

一种单晶硅棒清洗脱胶装置 [P].

邱小永 .

中国专利 :CN108993996A ,2018-12-14

[2]

一种磨损率低的单晶硅棒清洗脱胶机构 [P].

邱小永 .

中国专利 :CN109174807A ,2019-01-11

[3]

一种单晶硅棒脱胶装置 [P].

凌继贝 ;

张忠安 ;

张忠华 .

中国专利 :CN206780703U ,2017-12-22

[4]

一种单晶硅棒清洗脱胶装置 [P].

张志彬 .

中国专利 :CN118719709A ,2024-10-01

[5]

一种单晶硅棒水洗脱胶装置 [P].

刘科 .

中国专利 :CN209772838U ,2019-12-13

[6]

单晶硅棒清洗装置 [P].

白林 ;

王新正 ;

陆沁 .

中国专利 :CN215613635U ,2022-01-25

[7]

一种单晶硅棒切割后的水洗脱胶装置 [P].

邹文龙 ;

张力峰 .

中国专利 :CN216099754U ,2022-03-22

[8]

一种单晶硅棒切割后的水洗脱胶装置 [P].

张会现 ;

洪东旭 ;

楼刚刚 ;

卲化水 .

中国专利 :CN207507902U ,2018-06-19

[9]

一种用于单晶硅棒具有清洗脱胶结构的搬运机构 [P].

龚兴胜 .

中国专利 :CN211592592U ,2020-09-29

[10]

一种高效的单晶硅片水洗脱胶装置 [P].

陈春成 ;

戚建静 ;

徐芳 .

中国专利 :CN216965597U ,2022-07-15

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