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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2014-10-15 | 授权 | 授权 |
| 2022-09-20 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/687 申请日:20110929 授权公告日:20141015 终止日期:20210929 |
| 2012-05-09 | 公开 | 公开 |
| 2012-06-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101271730119 IPC(主分类):H01L 21/687 专利申请号:201110291342X 申请日:20110929 |