多晶硅还原尾气的处理方法和系统

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201310553078.1
申请日
2013-11-08
公开(公告)号
CN103599672A
公开(公告)日
2014-02-26
发明(设计)人
司文学 严大洲 肖荣晖 汤传斌 杨永亮
申请人
申请人地址
100038 北京市海淀区复兴路12号
IPC主分类号
B01D4700
IPC分类号
B01D5300 C01B3303
代理机构
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201
代理人
宋合成
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
多晶硅还原尾气的处理系统 [P]. 
司文学 ;
严大洲 ;
肖荣晖 ;
汤传斌 ;
杨永亮 .
中国专利 :CN203598633U ,2014-05-21
[2]
处理多晶硅还原尾气的方法和系统 [P]. 
司文学 ;
严大洲 ;
肖荣晖 ;
汤传斌 ;
杨永亮 .
中国专利 :CN103539069B ,2014-01-29
[3]
处理多晶硅还原尾气的系统和方法 [P]. 
王朝阳 ;
王洪光 ;
毕明锋 ;
李峰 ;
王飞 ;
彭述才 ;
冯宝军 .
中国专利 :CN109985489A ,2019-07-09
[4]
处理多晶硅还原尾气的方法和系统 [P]. 
司文学 ;
汪绍芬 ;
严大洲 ;
肖荣晖 ;
汤传斌 ;
杨永亮 .
中国专利 :CN103551007B ,2014-02-05
[5]
处理多晶硅还原尾气的系统 [P]. 
司文学 ;
汪绍芬 ;
严大洲 ;
肖荣晖 ;
汤传斌 ;
杨永亮 .
中国专利 :CN203598659U ,2014-05-21
[6]
处理多晶硅还原尾气的系统 [P]. 
杨永亮 ;
张志刚 ;
司文学 ;
严大洲 ;
肖荣晖 ;
汤传斌 .
中国专利 :CN104140103B ,2014-11-12
[7]
处理多晶硅还原尾气的系统 [P]. 
王朝阳 ;
王洪光 ;
毕明锋 ;
李峰 ;
王飞 ;
彭述才 ;
冯宝军 .
中国专利 :CN208130781U ,2018-11-23
[8]
处理多晶硅还原尾气的系统 [P]. 
杨永亮 ;
张志刚 ;
司文学 ;
严大洲 ;
肖荣晖 ;
汤传斌 .
中国专利 :CN204039067U ,2014-12-24
[9]
处理多晶硅还原尾气的方法 [P]. 
杨永亮 ;
张志刚 ;
司文学 ;
严大洲 ;
肖荣晖 ;
汤传斌 .
中国专利 :CN104140106B ,2014-11-12
[10]
多晶硅还原系统和多晶硅还原工艺 [P]. 
石何武 ;
张升学 ;
陈贵娥 ;
郑红梅 ;
杨永亮 .
中国专利 :CN111892057A ,2020-11-06