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多晶硅还原尾气的处理方法和系统
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201310553078.1
申请日
:
2013-11-08
公开(公告)号
:
CN103599672A
公开(公告)日
:
2014-02-26
发明(设计)人
:
司文学
严大洲
肖荣晖
汤传斌
杨永亮
申请人
:
申请人地址
:
100038 北京市海淀区复兴路12号
IPC主分类号
:
B01D4700
IPC分类号
:
B01D5300
C01B3303
代理机构
:
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201
代理人
:
宋合成
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2014-03-26
实质审查的生效
实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581022678 IPC(主分类):B01D 47/00 专利申请号:2013105530781 申请日:20131108
2014-02-26
公开
公开
2015-08-05
授权
授权
共 50 条
[1]
多晶硅还原尾气的处理系统
[P].
司文学
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司文学
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严大洲
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杨永亮
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中国专利
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,2014-05-21
[2]
处理多晶硅还原尾气的方法和系统
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杨永亮
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处理多晶硅还原尾气的系统和方法
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冯宝军
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[4]
处理多晶硅还原尾气的方法和系统
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处理多晶硅还原尾气的系统
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处理多晶硅还原尾气的系统
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处理多晶硅还原尾气的系统
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汤传斌
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,2014-12-24
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处理多晶硅还原尾气的方法
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杨永亮
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杨永亮
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汤传斌
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多晶硅还原系统和多晶硅还原工艺
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石何武
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石何武
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张升学
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张升学
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陈贵娥
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郑红梅
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,2020-11-06
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