一种氮化铝压电薄膜及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510150589.8

申请日：

2015-04-01

公开(公告)号：

CN104805405B

公开(公告)日：

2015-07-29

发明(设计)人：

刘兴钊李川张万里彭斌舒琳

申请人：

申请人地址：

611731 四川省成都市高新区（西区）西源大道2006号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1406 C23C1402

代理机构：

成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232

代理人：

葛启函

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-22	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20150401 授权公告日:20170503 终止日期:20180401
2017-05-03	授权	授权
2015-08-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101622480941 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2015101505898 申请日:20150401
2015-07-29	公开	公开

共 50 条

[1]

一种氮化铝压电薄膜及其制备方法 [P].

石玉 ;

钟慧 ;

王华磊 ;

黄光俊 ;

杜波 ;

蒋欣 ;

何泽涛 ;

赵宝林 .

中国专利 :CN101280412A ,2008-10-08

[2]

一种高质量氮化铝压电薄膜及其制备方法 [P].

李国强 .

中国专利 :CN111697125A ,2020-09-22

[3]

一种掺杂氮化铝压电薄膜的制作方法 [P].

李成明 ;

白雪杨 ;

韩啸松 ;

刘金龙 ;

陈良贤 ;

魏俊俊 .

中国专利 :CN118201459A ,2024-06-14

[4]

氮化铝压电薄膜、制备方法及应用 [P].

李卫民 ;

余希 ;

陈玲丽 ;

朱雷 ;

俞文杰 .

中国专利 :CN115697021A ,2023-02-03

[5]

氮化铝压电薄膜及其制造方法、压电材、压电部件 [P].

梅田圭一 ;

秋山守人 ;

长濑智美 ;

西久保桂子 ;

本多淳史 .

中国专利 :CN106062238B ,2016-10-26

[6]

一种钪掺氮化铝薄膜及其制备方法 [P].

赵祥永 ;

孙前 ;

刘肖男 ;

杨继业 ;

朱健秋 ;

张巧珍 .

中国专利 :CN120006230A ,2025-05-16

[7]

氮化铝薄膜及其制备方法 [P].

戴文武 ;

黄勇 .

中国专利 :CN119162548A ,2024-12-20

[8]

氮化铝薄膜及其制备方法 [P].

戴文武 ;

黄勇 .

中国专利 :CN119162548B ,2025-04-25

[9]

一种用于声表面波器件的氮化铝压电薄膜及其制备方法 [P].

薛玉明 ;

杨保和 ;

苏林 ;

朱亚东 ;

刘君 ;

宋殿友 ;

潘宏刚 ;

辛治军 .

中国专利 :CN102122936A ,2011-07-13

[10]

一种Er掺杂的氮化铝压电薄膜材料 [P].

杨成韬 ;

泰智薇 ;

胡现伟 ;

牛东伟 ;

唐佳琳 .

中国专利 :CN106835016A ,2017-06-13

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