UV-LED光学系统及曝光机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810458606.8

申请日：

2018-05-15

公开(公告)号：

CN108490744A

公开(公告)日：

2018-09-04

发明(设计)人：

周学思梁永锐

申请人：

申请人地址：

523556 广东省东莞市常平镇白石岗向北村208号之一

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-09-04	公开	公开
2018-09-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20180515

共 50 条

[1]

UV-LED光学系统及曝光机 [P].

周学思 ;

梁永锐 .

中国专利 :CN108490744B ,2024-03-29

[2]

UV-LED光学系统及曝光机 [P].

周学思 ;

梁永锐 .

中国专利 :CN208224714U ,2018-12-11

[3]

光学系统及曝光机 [P].

闵秀红 ;

罗亿龙 ;

陈于春 ;

孙键 ;

刘小根 ;

曹阳 ;

胡楚金 .

中国专利 :CN104423176A ,2015-03-18

[4]

曝光机光学系统 [P].

齐鹏煜 ;

姜晶晶 ;

汪栋 .

中国专利 :CN207623682U ,2018-07-17

[5]

UV-LED曝光光源系统 [P].

胡德立 .

中国专利 :CN109143789A ,2019-01-04

[6]

LED光学系统及灯具 [P].

赵宇波 ;

焦丽华 ;

郭雅群 ;

许靖 .

中国专利 :CN103822117A ,2014-05-28

[7]

LED光学系统及灯具 [P].

赵宇波 ;

郭雅群 ;

许靖 ;

焦丽华 .

中国专利 :CN103994395B ,2014-08-20

[8]

一种UV-LED曝光机 [P].

唐琦 .

中国专利 :CN204576056U ,2015-08-19

[9]

一种UV-LED曝光机 [P].

唐琦 .

中国专利 :CN204576057U ,2015-08-19

[10]

一种投影式光刻机用UV-LED光引擎光学系统 [P].

石超 ;

杨振东 ;

李成明 .

中国专利 :CN216979584U ,2022-07-15

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