一种延长单晶炉真空泵寿命的装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200910111784.4
申请日
2009-05-11
公开(公告)号
CN101709504A
公开(公告)日
2010-05-19
发明(设计)人
马殿军 南毅 张伟娜 郑智雄 林霞 胡满根
申请人
申请人地址
362000 福建省南安市霞美镇光电信息产业基地
IPC主分类号
C30B1500
IPC分类号
代理机构
厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204
代理人
张松亭
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种延长单晶炉真空泵寿命的方法 [P]. 
南毅 ;
马殿军 ;
张伟娜 ;
郑智雄 ;
林霞 ;
胡满根 .
中国专利 :CN101709503B ,2010-05-19
[2]
一种单晶炉真空泵的保护过滤系统 [P]. 
王再雄 .
中国专利 :CN217473013U ,2022-09-23
[3]
一种单晶炉真空泵泵油自动添加系统 [P]. 
彭套 ;
司鹏辉 ;
王峥 ;
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[4]
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[5]
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[6]
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[7]
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[10]
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