具有多个偏移的干涉仪

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780060856.X

申请日：

2017-09-29

公开(公告)号：

CN109844652B

公开(公告)日：

2019-06-04

发明(设计)人：

托马斯·恩格尔奥利弗·哈德恩

申请人：

申请人地址：

德国埃尔朗根

IPC主分类号：

G03H104

IPC分类号：

G03H108 G03H126 G03H102

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司 11240

代理人：

沈敬亭

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03H 1/04 申请日:20170929
2021-11-12	授权	授权
2019-06-04	公开	公开

共 50 条

[1]

具有多个扫描架的干涉仪 [P].

G.雷斯勒 ;

J.H.萨勒 .

中国专利 :CN103885179B ,2014-06-25

[2]

相位偏移干涉仪 [P].

川崎和彦 .

中国专利 :CN108061515A ,2018-05-22

[3]

瞬时相位偏移干涉仪 [P].

川崎和彦 ;

松浦心平 .

中国专利 :CN106352789B ,2017-01-25

[4]

离轴干涉仪 [P].

弗兰克·杜波依斯 ;

凯瑟琳·尤拉索斯基 .

中国专利 :CN102576209A ,2012-07-11

[5]

申东方 .

中国专利 :CN307406903S ,2022-06-17

[6]

高桥知隆 .

中国专利 :CN101430190B ,2009-05-13

[7]

林畅仁 ;

山田耕平 .

日本专利 :CN119688581A ,2025-03-25

[8]

王涛 ;

牟仲财 ;

鲜玉琼 .

中国专利 :CN3581800D ,2006-11-22

[9]

刘国淦 ;

段立峰 .

中国专利 :CN101082776A ,2007-12-05

[10]

M.迈斯纳 ;

R.耶尔格 ;

J.德雷舍尔 ;

W.霍尔扎普费尔 .

中国专利 :CN104236451B ,2014-12-24

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