一种真空镀膜设备用抽真空装置

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申请号
CN202122094967.9
申请日
2021-09-01
公开(公告)号
CN216155959U
公开(公告)日
2022-04-01
发明(设计)人
杨林生
申请人
申请人地址
230000 安徽省合肥市经济技术开发区紫云路北,桃源路西方兴园8幢405室
IPC主分类号
C23C1456
IPC分类号
F16F15067
代理机构
合肥三川专利代理事务所(普通合伙) 34150
代理人
潘光亮
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
真空镀膜设备用抽真空装置 [P]. 
孙婧 ;
李卫东 ;
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[2]
一种真空镀膜设备的抽真空装置 [P]. 
钟赐春 .
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[3]
一种用于真空镀膜设备的抽真空装置 [P]. 
申舰 ;
袁斌 ;
张延任 ;
张建德 .
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[4]
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[5]
真空镀膜设备用抽真空机构及真空镀膜设备 [P]. 
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[6]
真空镀膜设备 [P]. 
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[7]
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[8]
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[10]
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