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交替蚀刻与钝化工艺
被引：0
申请号：
CN202211140265.2
申请日：
2020-06-22
公开(公告)号：
CN115565867A
公开(公告)日：
2023-01-03
发明(设计)人：
徐相俊
游正义
梁振伟
艾伦·J·詹生
萨曼塔·S·H·坦
申请人：
申请人地址：
美国加利福尼亚州
IPC主分类号：
H01L213065
IPC分类号：
代理机构：
上海胜康律师事务所 31263
代理人：
李献忠;张华
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-01-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/3065 申请日:20200622 |
| 2023-01-03 | 公开 | 公开 |