一种方硅芯的清洗设备及其清洗工艺

被引：0

申请号：

CN202211254480.5

申请日：

2022-10-13

公开(公告)号：

CN115582330A

公开(公告)日：

2023-01-10

发明(设计)人：

吕卓然郭艳旗

申请人：

申请人地址：

462000 河南省漯河市经济技术开发区东方红路1号

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B08B308 B08B310 B08B312 F26B2100 F26B2114 H01L2167

代理机构：

郑州隆盛专利代理事务所(普通合伙) 41143

代理人：

鲍立阳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-10	公开	公开
2023-01-31	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 3/02 申请日:20221013

共 50 条

[1]

一种模芯清洗设备及其清洗工艺 [P].

张宏 .

中国专利 :CN119972650A ,2025-05-13

[2]

一种清洗设备及其清洗工艺 [P].

周頔 ;

郑红军 ;

张庆云 ;

陆敏 .

中国专利 :CN118357860A ,2024-07-19

[3]

一种清洗设备及其清洗工艺 [P].

周頔 ;

郑红军 ;

张庆云 ;

陆敏 .

中国专利 :CN118357860B ,2024-10-18

[4]

一种硅部件清洗设备及清洗工艺 [P].

祝建敏 ;

姜平 ;

李长苏 ;

刘志彪 .

中国专利 :CN115609488A ,2023-01-17

[5]

一种硅部件清洗设备及清洗工艺 [P].

祝建敏 ;

姜平 ;

李长苏 ;

刘志彪 .

中国专利 :CN115609488B ,2025-07-08

[6]

一种清洗设备及其清洗工艺 [P].

徐泽辉 ;

曹洪海 ;

姚莉艳 ;

朱晓军 ;

刘建书 .

中国专利 :CN118565254A ,2024-08-30

[7]

一种硅料清洗工艺及其设备 [P].

陈五奎 ;

李军 ;

徐文州 ;

耿荣军 ;

樊茂德 ;

冯加保 .

中国专利 :CN104438201A ,2015-03-25

[8]

一种硅片清洗设备及清洗工艺 [P].

古元甲 ;

刘晓伟 ;

刘涛 ;

刘琦 ;

李伟 ;

刘沛然 ;

孙昊 ;

孙毅 ;

石海涛 ;

秦焱泽 ;

杨旭洲 ;

田志民 ;

李方乐 .

中国专利 :CN107639070A ,2018-01-30

[9]

硅芯清洗系统 [P].

左国军 ;

谈丽文 ;

王千熙 ;

吉扬 ;

陈艾 ;

申斌 ;

成旭 ;

鞠璐平 ;

任金枝 .

中国专利 :CN222724962U ,2025-04-08

[10]

一种硅料的清洗工艺 [P].

黄兴晋 ;

徐志群 ;

汪奇 ;

苏勇 ;

蔺宝林 ;

彭瑶 ;

徐涛 ;

张兴发 .

中国专利 :CN108687029A ,2018-10-23

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