一种晶圆片自动中心定位仪

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专利类型
实用新型
申请号
CN201420114498.X
申请日
2014-03-14
公开(公告)号
CN203787407U
公开(公告)日
2014-08-20
发明(设计)人
雷枫 李少博 问孝明
申请人
申请人地址
100080 北京市海淀区中关村东路95号8号楼415室
IPC主分类号
H01L2168
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
专利权的终止
国省代码
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