一种用于刻蚀光阻材料的大气压冷等离子体射流装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110276429.X

申请日：

2011-09-16

公开(公告)号：

CN102333410A

公开(公告)日：

2012-01-25

发明(设计)人：

王立军傅明政贾申利宁文军史宗谦

申请人：

申请人地址：

710049 陕西省西安市咸宁西路28号

IPC主分类号：

H05H124

IPC分类号：

代理机构：

西安通大专利代理有限责任公司 61200

代理人：

陆万寿

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-03-14	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101203920382 IPC(主分类):H05H 1/24 专利申请号:201110276429X 申请日:20110916
2013-02-06	授权	授权
2012-01-25	公开	公开

共 50 条

[1]

大气压冷等离子体射流辅助切削方法 [P].

徐文骥 ;

刘新 ;

宋金龙 ;

孙晶 ;

武立波 ;

王续跃 .

中国专利 :CN102601677A ,2012-07-25

[2]

便携式大气压冷等离子体射流装置 [P].

许德晖 ;

章金 ;

张新颖 ;

彭三三 ;

张怀延 ;

刘志杰 ;

刘定新 .

中国专利 :CN113597075A ,2021-11-02

[3]

一种宽幕大气压冷等离子体射流装置 [P].

王乔华 ;

许德晖 ;

杨延洁 ;

邹绍茹 ;

邹争飞 .

中国专利 :CN118714721A ,2024-09-27

[4]

一种大气压等离子体射流装置 [P].

卢新培 ;

李志宇 ;

刘嘉林 ;

聂兰兰 .

中国专利 :CN110913550B ,2020-03-24

[5]

线形阵列式大气压冷等离子体射流发生装置 [P].

左潇 ;

沈洁 ;

陈龙威 ;

舒兴胜 ;

魏钰 ;

方世东 ;

孟月东 .

中国专利 :CN202841676U ,2013-03-27

[6]

大气压冷等离子体射流中电火花加工方法 [P].

余祖元 ;

邹日貌 ;

徐文骥 ;

李剑中 .

中国专利 :CN106312205A ,2017-01-11

[7]

一种大气压冷等离子体射流气流辅助聚焦装置 [P].

王涛 ;

时礼平 ;

吕栎 ;

张兴权 ;

童宝宏 ;

张国涛 .

中国专利 :CN111885808B ,2020-11-03

[8]

一种大气压冷等离子体射流电火花加工的装置 [P].

余祖元 ;

邹日貌 ;

晏成洋 ;

李剑中 ;

刘新 ;

徐文骥 .

中国专利 :CN106513881B ,2017-03-22

[9]

一种大气压柔性冷等离子体射流内窥镜灭菌装置 [P].

刘新 ;

秦文跃 ;

王德伦 .

中国专利 :CN206761952U ,2017-12-19

[10]

一种大气压低温等离子体射流灭菌装置 [P].

石建军 ;

刘小虎 ;

丁可 ;

黄晓江 ;

张菁 .

中国专利 :CN202288940U ,2012-07-04

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