一种探针卡测试用大载荷高精度电动Z轴位移台

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专利类型
实用新型
申请号
CN201922334597.4
申请日
2019-12-24
公开(公告)号
CN211652957U
公开(公告)日
2020-10-09
发明(设计)人
张冀阳 邢玉兵
申请人
申请人地址
519000 广东省珠海市斗门区井岸镇新青二路28号
IPC主分类号
G01R1067
IPC分类号
代理机构
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法律状态
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