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尤其用于偏振激光射束的光学组件以及具有该光学组件的EUV辐射产生设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201880097485.7
申请日：
2018-09-12
公开(公告)号：
CN112714883A
公开(公告)日：
2021-04-27
发明(设计)人：
O·埃里克松
申请人：
申请人地址：
德国迪琴根
IPC主分类号：
G02B700
IPC分类号：
G02B530
G02B2728
H01S322
代理机构：
永新专利商标代理有限公司 72002
代理人：
郭毅
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-04-27 | 公开 | 公开 |
| 2021-07-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 7/00 申请日:20180912 |