一种高纯铝硅靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111091818.5

申请日：

2021-09-17

公开(公告)号：

CN113817994A

公开(公告)日：

2021-12-21

发明(设计)人：

姚力军潘杰边逸军王学泽章丽娜罗明浩

申请人：

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C22F104 B23P1500

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司 11659

代理人：

王岩

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-21	公开	公开
2022-01-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20210917

共 50 条

[1]

一种高纯铝硅靶材的制备方法 [P].

吴桂林 ;

黄天林 ;

李肖蓉 ;

刘庆 ;

黄晓旭 .

中国专利 :CN104451566A ,2015-03-25

[2]

一种高纯铝靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

章丽娜 ;

罗明浩 .

中国专利 :CN113897566B ,2022-01-07

[3]

一种高纯铝靶材的制备方法 [P].

陈晓达 ;

张永健 ;

韩小亮 ;

容构华 ;

陈枫 .

中国专利 :CN119710573A ,2025-03-28

[4]

一种高纯铝硅铜靶材及其制备方法与应用 [P].

沈月 ;

闻明 ;

王传军 ;

普志辉 ;

黄通 ;

李思勰 ;

唐可 ;

彭海 ;

许彦亭 ;

黎林根 .

中国专利 :CN118516627A ,2024-08-20

[5]

一种高纯合金铝靶材及其制备方法 [P].

潘杰 ;

姚力军 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

章丽娜 ;

罗明浩 .

中国专利 :CN113817997A ,2021-12-21

[6]

高纯铝靶材的制备方法 [P].

唐智勇 ;

唐安泰 .

中国专利 :CN119433466A ,2025-02-14

[7]

一种高纯铝靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

章丽娜 .

中国专利 :CN113652655B ,2021-11-16

[8]

一种高纯铝靶材的制备方法 [P].

唐安泰 ;

唐智勇 ;

程波 .

中国专利 :CN116791050B ,2025-06-10

[9]

一种铝硅靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

章丽娜 ;

罗明浩 .

中国专利 :CN113774339A ,2021-12-10

[10]

一种高纯铝靶材组件的钎焊方法及高纯铝靶材组件 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

章丽娜 .

中国专利 :CN112059345B ,2020-12-11

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