一种真空干燥装置及光刻工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310246884.4

申请日：

2013-06-20

公开(公告)号：

CN103353209A

公开(公告)日：

2013-10-16

发明(设计)人：

陆忠王军才陈巍李炳天黄丽娟

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

F26B906

IPC分类号：

F26B700 G03F716

代理机构：

北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291

代理人：

黄志华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-11-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101539325555 IPC(主分类):F26B 9/06 专利申请号:2013102468844 申请日:20130620
2015-04-29	授权	授权
2013-10-16	公开	公开

共 50 条

[1]

一种电极芯真空干燥装置及工艺 [P].

王俊华 ;

孙伟 .

中国专利 :CN105300056A ,2016-02-03

[2]

一种真空干燥装置 [P].

邵伟 ;

熊泽 ;

陈菽 .

中国专利 :CN204240725U ,2015-04-01

[3]

一种真空干燥装置 [P].

于婷 ;

何辉 ;

叶国安 ;

李斌 ;

王均利 ;

陈兴 ;

范辉 .

中国专利 :CN113028753A ,2021-06-25

[4]

一种真空干燥装置 [P].

汪杰 .

中国专利 :CN216261763U ,2022-04-12

[5]

一种真空干燥装置 [P].

刘毅 ;

周友来 ;

余罡 .

中国专利 :CN214371322U ,2021-10-08

[6]

一种减压干燥装置及阵列光刻工艺设备 [P].

张民 ;

周子卿 ;

王涛 ;

吴磊 ;

陈朋 .

中国专利 :CN203799174U ,2014-08-27

[7]

一种气瓶组真空干燥装置 [P].

韦须林 .

中国专利 :CN201311160Y ,2009-09-16

[8]

一种光刻胶及其光刻工艺 [P].

王国秋 ;

黄坚 ;

陈璀 .

中国专利 :CN111983890A ,2020-11-24

[9]

一种光刻胶及其光刻工艺 [P].

王国秋 ;

黄坚 ;

陈璀 .

中国专利 :CN111983890B ,2024-03-22

[10]

真空干燥装置及真空干燥系统 [P].

张恒 ;

丁中山 ;

谭奇略 ;

魏正 .

中国专利 :CN221825711U ,2024-10-11

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