一种低温空气排放气升温装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201621070543.1
申请日
2016-09-22
公开(公告)号
CN206073757U
公开(公告)日
2017-04-05
发明(设计)人
蹇守华 黄维柱
申请人
申请人地址
610041 四川省成都市高新区高朋大道5号
IPC主分类号
F28C302
IPC分类号
F24H302
代理机构
成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214
代理人
房云
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
一种低温空气排放气升温装置及工艺 [P]. 
蹇守华 ;
黄维柱 .
中国专利 :CN106288861A ,2017-01-04
[2]
一种放气法制造低温空气的装置 [P]. 
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[3]
一种低温晶圆真空升温装置 [P]. 
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[4]
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曹原峰 ;
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李树枫 ;
刁秀辉 ;
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[5]
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[7]
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[8]
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[10]
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