热交换器温控方法及温控系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110882723.9

申请日：

2021-08-02

公开(公告)号：

CN113687670B

公开(公告)日：

2021-11-23

发明(设计)人：

常鑫何茂栋冯涛李文博张伟芮守祯曹小康

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座

IPC主分类号：

G05D2320

IPC分类号：

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

韩世虹

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-16	授权	授权
2021-11-23	公开	公开
2021-12-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G05D 23/20 申请日:20210802

共 50 条

[1]

用于半导体生产的热交换器温控方法及温控系统 [P].

常鑫 ;

董春辉 ;

刘紫阳 ;

冯涛 ;

李文博 ;

张伟 ;

芮守祯 ;

何茂栋 ;

曹小康 .

中国专利 :CN113625799B ,2021-11-09

[2]

具有温控系统的热交换器 [P].

廖克清 .

中国专利 :CN201917269U ,2011-08-03

[3]

平行流热交换器的温控系统装置 [P].

何金汉 .

中国专利 :CN201828188U ,2011-05-11

[4]

热交换器的温控装置 [P].

忻贤君 .

中国专利 :CN113584801A ,2021-11-02

[5]

热交换器的温控装置 [P].

忻贤君 .

中国专利 :CN215668592U ,2022-01-28

[6]

一种带有热交换器的温控系统 [P].

刘忆军 ;

吴围 ;

于棚 ;

李丹 ;

郑英杰 ;

杜媛婷 .

中国专利 :CN106480430A ,2017-03-08

[7]

温控系统及温控方法 [P].

宋朝阳 ;

冯涛 ;

靳李富 ;

芮守祯 ;

何茂栋 ;

曹小康 .

中国专利 :CN111538360B ,2020-08-14

[8]

热交换器系统 [P].

阿提拉·西莫菲-伊莱斯 ;

洪涛 ;

约翰·弗莱克 ;

阿恩德·赫维格 .

德国专利 :CN119974949A ,2025-05-13

[9]

热交换器和热交换器系统 [P].

蒂莫西·J·施拉德尔 ;

扬·G·斯皮林 .

中国专利 :CN202013133U ,2011-10-19

[10]

热交换器管道及热交换器 [P].

陈荣波 ;

宋仕娟 .

中国专利 :CN204704952U ,2015-10-14

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