干燥及预钝化装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710371401.1

申请日：

2017-05-23

公开(公告)号：

CN107287553A

公开(公告)日：

2017-10-24

发明(设计)人：

郭馨丁金滨刘斌张立佳周翔王宇赵江山

申请人：

申请人地址：

100094 北京市海淀区邓庄南路9号

IPC主分类号：

C23C808

IPC分类号：

C23C802

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

任岩

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-04	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C 8/08 登记生效日:20200814 变更事项:申请人变更前权利人:中国科学院光电研究院变更后权利人:中国科学院空天信息创新研究院变更事项:地址变更前权利人:100094 北京市海淀区邓庄南路9号变更后权利人:100190 北京市海淀区北四环西路19号
2017-10-24	公开	公开
2020-09-04	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C 8/08 登记生效日:20200814 变更事项:申请人变更前权利人:中国科学院空天信息创新研究院变更后权利人:中国科学院微电子研究所变更事项:地址变更前权利人:100190 北京市海淀区北四环西路19号变更后权利人:100029 北京市朝阳区北土城西路3号
2017-11-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 8/08 申请日:20170523

共 50 条

[1]

干燥及预钝化装置及方法 [P].

郭馨 ;

丁金滨 ;

刘斌 ;

张立佳 ;

周翔 ;

王宇 ;

赵江山 .

中国专利 :CN107287553B ,2024-02-06

[2]

干燥及预钝化装置 [P].

郭馨 ;

丁金滨 ;

刘斌 ;

张立佳 ;

周翔 ;

王宇 ;

赵江山 .

中国专利 :CN206902221U ,2018-01-19

[3]

钝化装置及方法 [P].

孙晓光 ;

王睿 ;

宁海石 ;

韩晓辉 ;

张志毅 .

中国专利 :CN111962055A ,2020-11-20

[4]

钝化装置 [P].

肖爽 ;

陈权中 ;

周家坤 .

中国专利 :CN220342754U ,2024-01-12

[5]

一种刃具刃口钝化装置及基于该钝化装置的钝化方法 [P].

钟涛 ;

赖永良 ;

候晓春 .

中国专利 :CN106498382B ,2017-03-15

[6]

半导体器件钝化装置及方法 [P].

魏文超 ;

徐荣靖 ;

郑志川 ;

刘中华 ;

李颖 ;

惠利省 ;

杨国文 .

中国专利 :CN117277049B ,2024-03-22

[7]

一种硅的氧化钝化方法及钝化装置 [P].

王燕 ;

刘尧平 ;

梅增霞 ;

杜小龙 .

中国专利 :CN102427097A ,2012-04-25

[8]

甲醇合成催化剂的钝化装置及钝化方法 [P].

李玉茹 .

中国专利 :CN104474987A ,2015-04-01

[9]

一种铝蜂窝芯钝化装置及钝化方法 [P].

刘航 ;

刘建春 ;

高文龙 ;

王懋君 ;

杨宏伟 ;

张平萍 ;

禄俊祥 ;

杜文超 ;

郭凯 ;

赵阳阳 .

中国专利 :CN119913495B ,2025-08-29

[10]

一种铝蜂窝芯钝化装置及钝化方法 [P].

刘航 ;

刘建春 ;

高文龙 ;

王懋君 ;

杨宏伟 ;

张平萍 ;

禄俊祥 ;

杜文超 ;

郭凯 ;

赵阳阳 .

中国专利 :CN119913495A ,2025-05-02

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