一种高切割精准度的晶圆切割装置

被引:0
申请号
CN202220565740.X
申请日
2022-03-15
公开(公告)号
CN217414531U
公开(公告)日
2022-09-13
发明(设计)人
任飞
申请人
申请人地址
314112 浙江省嘉兴市嘉善县惠民街道鑫达路8号1号厂房2楼东侧
IPC主分类号
B28D704
IPC分类号
B28D700 B28D502 B28D702
代理机构
嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253
代理人
金亚丁
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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[2]
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[3]
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[5]
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[6]
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[7]
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[9]
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[10]
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陈月娇 .
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