清洁装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202121656203.8

申请日：

2021-07-20

公开(公告)号：

CN215466810U

公开(公告)日：

2022-01-11

发明(设计)人：

龚新储鑫

申请人：

申请人地址：

230000 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号

IPC主分类号：

B08B9087

IPC分类号：

B08B908 B08B1502 B08B1300

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤;陈丽丽

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-11	授权	授权

共 50 条

[1]

清洁机构及清洁装置 [P].

屈鹏鹏 ;

李勇 ;

王太访 .

中国专利 :CN217911701U ,2022-11-29

[2]

掩模版清洁装置 [P].

张祥平 ;

李天慧 ;

黄晓橹 ;

龙海凤 .

中国专利 :CN208673040U ,2019-03-29

[3]

一种腔体清洁装置 [P].

莫晓世 .

中国专利 :CN210497481U ,2020-05-12

[4]

一种吸盘清洁装置及光刻设备 [P].

黄亚庆 ;

闫法领 .

中国专利 :CN217250952U ,2022-08-23

[5]

输送辊清洁装置 [P].

李青 ;

李赫然 ;

杨昌华 ;

严雷 ;

黄志军 ;

吴彦冰 ;

江宏英 ;

唐宁伟 .

中国专利 :CN221679903U ,2024-09-10

[6]

一种用于晶圆测试的探针清洁装置 [P].

朱兵兵 ;

王先明 ;

郭磊 ;

董国庆 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN221537387U ,2024-08-16

[7]

一种清洁装置 [P].

南江 ;

梁汉 ;

陈蒙 ;

宋永高 ;

许奇 .

中国专利 :CN223382089U ,2025-09-26

[8]

清洁装置 [P].

石峻 ;

孙雯 ;

肖卫民 .

中国专利 :CN202960214U ,2013-06-05

[9]

清洁装置 [P].

宣荣峰 .

中国专利 :CN203426079U ,2014-02-12

[10]

清洁装置 [P].

郭建刚 ;

王钦荣 ;

王颖彦 .

中国专利 :CN217429883U ,2022-09-16

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