半导体级过氧化氢溶液中B、Si元素的去除方法

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申请号
CN202210380504.5
申请日
2022-04-12
公开(公告)号
CN114671408A
公开(公告)日
2022-06-28
发明(设计)人
汪永超 白秀君 周继业 汤磊鹏
申请人
申请人地址
311322 浙江省杭州市临安区龙岗镇龙都街858号
IPC主分类号
C01B15013
IPC分类号
代理机构
杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213
代理人
吴秉中
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种半导体级过氧化氢水溶液的制备方法 [P]. 
白秀君 ;
周继业 ;
汪永超 ;
汤磊硼 ;
朱洁洁 .
中国专利 :CN110577195A ,2019-12-17
[2]
一种超纯过氧化氢水溶液的制备方法 [P]. 
汪永超 ;
白秀君 ;
周继业 .
中国专利 :CN103466557A ,2013-12-25
[3]
生产纯化的过氧化氢水溶液的方法 [P]. 
田中富士夫 ;
菅原一郎 ;
安达孝 ;
嶺和久 .
中国专利 :CN1171776C ,2002-01-09
[4]
过氧化氢水的精制方法和系统 [P]. 
闵弘基 ;
徐东锡 ;
李旭 .
韩国专利 :CN119430086A ,2025-02-14
[5]
高纯过氧化氢纯化装置 [P]. 
李祥庆 .
中国专利 :CN2707735Y ,2005-07-06
[6]
连续化生产超纯过氧化氢的方法 [P]. 
汤慧 ;
詹家荣 .
中国专利 :CN102556976A ,2012-07-11
[7]
连续法生产超纯过氧化氢的生产装置 [P]. 
王明 ;
王晶 ;
沈飞 .
中国专利 :CN209853728U ,2019-12-27
[8]
过氧化氢的纯化方法和过氧化氢溶液 [P]. 
P.齐多维奇 ;
B.雷基耶姆 ;
M.娆弗雷 .
中国专利 :CN113353891A ,2021-09-07
[9]
过氧化氢的纯化方法和过氧化氢溶液 [P]. 
P.齐多维奇 ;
B.雷基耶姆 ;
M.娆弗雷 .
中国专利 :CN113387331A ,2021-09-14
[10]
高纯过氧化氢的制备方法 [P]. 
马敬环 ;
唐娜 ;
赵永宏 .
中国专利 :CN1189387C ,2003-09-03