用于CMP的涂覆金属氧化物颗粒

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200480017375.3

申请日：

2004-04-19

公开(公告)号：

CN1809620A

公开(公告)日：

2006-07-26

发明(设计)人：

弗雷德·F·森陆斌伊桑·K·莱特尔王淑敏

申请人：

申请人地址：

美国伊利诺伊州

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

C09K314 H01L21321 H01L21768

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

宋莉;贾静环

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-02-22	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101287522689 IPC(主分类):C09G 1/02 专利申请号:2004800173753 公开日:20060726
2006-09-20	实质审查的生效	实质审查的生效
2006-07-26	公开	公开

共 50 条

[1]

用于CMP的涂覆金属氧化物颗粒 [P].

弗雷德·F·森 ;

陆斌 ;

伊桑·K·莱特尔 ;

王淑敏 .

中国专利 :CN102127370A ,2011-07-20

[2]

生色团涂覆的金属氧化物颗粒 [P].

沃尔科·希勒曼 ;

卡特加·比格-舒尔茨 .

中国专利 :CN101146872B ,2008-03-19

[3]

金属氧化物涂覆的锂混合氧化物颗粒 [P].

R·奥斯顿 ;

U·海德 ;

A·库纳 ;

N·罗兹 ;

A·阿曼 ;

M·尼曼 .

中国专利 :CN1350706A ,2002-05-22

[4]

聚硅氧烷涂覆的金属氧化物颗粒 [P].

卡特加·比格-舒尔茨 ;

于尔根·H·沃勒哈特 ;

霍斯特·韦斯特菲尔德 ;

芬坦·斯特 .

中国专利 :CN101146511B ,2008-03-19

[5]

均匀涂覆的粒状金属氧化物 [P].

W·E·法内斯 ;

N·赫尔龙 .

中国专利 :CN1215698A ,1999-05-05

[6]

金属氧化物颗粒 [P].

K·M·汗帕尔 ;

B·U·科尔布 ;

M·M·沃格尔-马丁 ;

M·J·亨德里克森 .

中国专利 :CN105531240A ,2016-04-27

[7]

金属氧化物颗粒 [P].

苏吉特·库马 ;

毕向欣 ;

克雷格·R·霍恩 ;

赖茨·德利斯·哈里科里亚 ;

詹姆斯·T·加德纳 ;

罗纳德·J·莫索 ;

神部信幸 .

中国专利 :CN1915837A ,2007-02-21

[8]

涂覆金属氧化物的二氧化钛片状颗粒 [P].

S·安迪斯 ;

G·保尔 ;

G·布伦内 ;

D·布克内 ;

M·施米尔 ;

A·海兰德 ;

M·库茨 ;

K·奥斯特里德 ;

G·普法夫 .

中国专利 :CN1095863C ,1999-08-11

[9]

用包含金属氧化物的纳米颗粒涂覆基底的方法 [P].

M·H·阿布德埃尔哈米德 ;

Y·M·米克黑尔 ;

G·V·达希奇 ;

C·A·王 .

中国专利 :CN102191499A ,2011-09-21

[10]

经表面处理的金属氧化物颗粒 [P].

德米特里·福米特切夫 ;

乔基姆·K·弗洛斯 ;

威廉·R·威廉斯 .

中国专利 :CN101796145B ,2010-08-04

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