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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-03-07 | 授权 | 授权 |
| 2017-06-27 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101754461339 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2011202626524 变更事项:专利权人 变更前:深圳市星河电路有限公司 变更后:深圳市星河电路股份有限公司 变更事项:地址 变更前:518000 广东省深圳市宝安区沙井街道蚝四西部工业园第2栋厂房 变更后:518000 广东省深圳市宝安区沙井街道蚝四西部工业园第2栋厂房 |
| 2021-08-10 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20110722 授权公告日:20120307 |