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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2001-12-26 | 公开 | 公开 |
| 2001-12-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2004-06-30 | 发明专利说明书更正 | 发明专利说明书更正更正 卷:20 号:10 页码:扉页 更正项目:优先权 误:1998.11.27 JP 337594/1998 正:1998.11.27 JP 337594/1998|1999.07.06 JP 192290/1999 |
| 2019-12-20 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 IPC(主分类):H01L 21/308 申请日:19991126 授权公告日:20040310 |
| 2004-07-14 | 发明专利说明书更正 | 发明专利说明书更正更正 卷:20 号:10 页码:扉页 更正项目:优先权 误:1998.11.27 JP 337594/1998 正:1998.11.27 JP 337594/1998|1999.07.06 JP 192290/1999 |
| 2004-03-10 | 授权 | 授权 |