侧壁堆积物除去用组合物和侧壁堆积物除去方法

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专利类型
发明
申请号
CN99813773.1
申请日
1999-11-26
公开(公告)号
CN1328698A
公开(公告)日
2001-12-26
发明(设计)人
绪方不二麿 杉山勉 宫原邦明
申请人
申请人地址
日本东京
IPC主分类号
H01L21308
IPC分类号
H01L21302 H01L21027 C11D708 C11D722
代理机构
上海专利商标事务所
代理人
章鸣玉
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
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