一种掩模台及光刻机

被引：0

申请号：

CN202122984231.9

申请日：

2021-11-30

公开(公告)号：

CN217305707U

公开(公告)日：

2022-08-26

发明(设计)人：

杨博光蔡晨张德峰王鑫鑫冒鹏飞

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

倪焱

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-26	授权	授权

共 50 条

[1]

一种光刻机掩模台横梁 [P].

吴飞 ;

王茜 ;

周瑞良 ;

刘剑 ;

魏巍 .

中国专利 :CN202677060U ,2013-01-16

[2]

一种光刻机掩模台 [P].

谭军 ;

庞超群 ;

朱晓春 ;

朱凯 .

中国专利 :CN118444538B ,2024-11-01

[3]

一种光刻机掩模台 [P].

谭军 ;

庞超群 ;

朱晓春 ;

朱凯 .

中国专利 :CN118444538A ,2024-08-06

[4]

一种掩模台系统及光刻机 [P].

文卫朋 .

中国专利 :CN109388029A ,2019-02-26

[5]

限位机构、掩模台及光刻机 [P].

钱林峰 ;

黄亚庆 ;

丛国栋 .

中国专利 :CN112578639A ,2021-03-30

[6]

一种缓冲结构、掩模台及光刻机 [P].

杨存攀 ;

纪俊洋 .

中国专利 :CN113448174B ,2021-09-28

[7]

多掩模的光刻机硅片台系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

汪劲松 ;

田丽 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

段广洪 ;

胡金春 ;

许岩 .

中国专利 :CN201527541U ,2010-07-14

[8]

具有多掩模的光刻机硅片台系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

汪劲松 ;

田丽 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

段广洪 ;

胡金春 ;

许岩 .

中国专利 :CN201583783U ,2010-09-15

[9]

一种磁悬浮式光刻机掩模台 [P].

吴剑威 ;

李昌其 ;

赵鹏越 ;

郑健 ;

王继尧 ;

韦威威 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN113885298B ,2022-01-04

[10]

一种光刻机掩模台隔振装置 [P].

吴剑威 ;

李昌其 ;

赵鹏越 ;

刘江 ;

潘健生 ;

赵博 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN113867106A ,2021-12-31

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