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洗涤液的供给系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN01137231.1
申请日：
2001-09-05
公开(公告)号：
CN1343002A
公开(公告)日：
2002-04-03
发明(设计)人：
岛井太
越山淳
平康充
申请人：
申请人地址：
日本川崎市
IPC主分类号：
H01L21304
IPC分类号：
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
杨丽琴
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2002-04-03 | 公开 | 公开 |
| 2003-05-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2021-09-21 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 IPC(主分类):H01L 21/304 申请日:20010905 授权公告日:20081224 |
| 2008-12-24 | 授权 | 授权 |
| 2003-06-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |