石墨烯器件制造装置和使用该装置的石墨烯器件制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310124248.4

申请日：

2013-04-11

公开(公告)号：

CN103579043A

公开(公告)日：

2014-02-12

发明(设计)人：

李周浩郑镛席金容诚李昌承文彰烈

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2104

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

弋桂芬

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-05	授权	授权
2015-07-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101616573786 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2013101242484 申请日:20130411
2014-02-12	公开	公开

共 50 条

[1]

石墨烯结构、石墨烯器件及其制造方法 [P].

贾昆鹏 ;

粟雅娟 ;

朱慧珑 ;

赵超 .

中国专利 :CN104779287B ,2015-07-15

[2]

石墨烯器件和制造石墨烯器件的方法 [P].

A·M·卡凯南 ;

S·哈奎 ;

A·库利 ;

P·M·帕萨南 ;

L·M·J·卡凯南 ;

M·A·雨西塔洛 ;

R·K·勒蒂涅米 .

中国专利 :CN102471069A ,2012-05-23

[3]

石墨烯结构及其制造方法、石墨烯器件及其制造方法 [P].

崔秉龙 ;

李银京 ;

黄同穆 .

中国专利 :CN102856354B ,2013-01-02

[4]

石墨烯晶片、制造石墨烯晶片的方法、释放石墨烯层的方法和制造石墨烯器件的方法 [P].

荻原光彦 ;

鹭森友彦 ;

佐久田昌明 ;

桥本明弘 ;

田中悟 .

中国专利 :CN101927998B ,2010-12-29

[5]

石墨烯器件及其制造方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN108258054A ,2018-07-06

[6]

石墨烯器件及其制造方法 [P].

梁擎擎 ;

金智 ;

钟汇才 ;

朱慧珑 ;

刘新宇 .

中国专利 :CN103107077B ,2013-05-15

[7]

石墨烯纳米器件的制造 [P].

洪承焄 ;

李周炯 ;

金泰铉 .

中国专利 :CN101643199B ,2010-02-10

[8]

石墨烯晶体管以及制造石墨烯器件的方法 [P].

李昌承 ;

李周浩 ;

金容诚 ;

文彰烈 .

中国专利 :CN103227103A ,2013-07-31

[9]

制造石墨烯膜的方法和由此制造的石墨烯膜 [P].

罗德和 ;

李殷奎 ;

尹钟赫 .

中国专利 :CN104936892A ,2015-09-23

[10]

石墨烯制造方法及石墨烯制造装置 [P].

小林俊之 ;

坂东雅史 ;

木村望 ;

清水圭辅 ;

角野宏治 .

中国专利 :CN102862975A ,2013-01-09

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