共 50 条
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被加工物的加工方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810193729.3
申请日：
2018-03-09
公开(公告)号：
CN108573919A
公开(公告)日：
2018-09-25
发明(设计)人：
田中英明
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L2178
IPC分类号：
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
于靖帅;乔婉
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-03-10 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/78 申请日:20180309 |
| 2018-09-25 | 公开 | 公开 |