一种ITO靶材烧结尺寸控制方法

被引：0

申请号：

CN202210415504.4

申请日：

2022-04-18

公开(公告)号：

CN114702312A

公开(公告)日：

2022-07-05

发明(设计)人：

唐安泰

申请人：

申请人地址：

412000 湖南省株洲市天元区天易科技城自主创业园一期A5栋

IPC主分类号：

C04B35457

IPC分类号：

C04B35622 C04B3564 C23C1434 C23C1435

代理机构：

长沙鑫泽信知识产权代理事务所(普通合伙) 43247

代理人：

李翠梅

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/457 申请日:20220418
2022-07-05	公开	公开

共 50 条

[1]

一种大尺寸ITO靶材烧结炉 [P].

张华芹 ;

程佳彪 ;

占时友 ;

张冬翔 .

中国专利 :CN210922186U ,2020-07-03

[2]

ITO靶材烧结炉 [P].

王雪涛 ;

马春元 ;

王新会 ;

刘浩 .

中国专利 :CN207365687U ,2018-05-15

[3]

一种长尺寸的ITO旋转靶筒烧结方法 [P].

曾探 ;

王志强 ;

盛明亮 ;

曾墩风 ;

马建保 ;

石煜 .

中国专利 :CN113603494A ,2021-11-05

[4]

一种避免浪费ITO靶材的尺寸控制装置及方法 [P].

唐智勇 ;

唐安泰 .

中国专利 :CN115900331B ,2025-10-03

[5]

一种ITO靶材承烧结构 [P].

曾墩风 ;

陈光园 ;

王志强 ;

曾探 ;

于庆萍 .

中国专利 :CN223179305U ,2025-08-01

[6]

一种TFT级ITO靶材的常压烧结方法 [P].

黄誓成 ;

陆映东 ;

黄作 ;

武建良 ;

农浩 .

中国专利 :CN105294072B ,2016-02-03

[7]

一种高效透氧的ITO靶材摆放-烧结方法 [P].

余永强 ;

马立云 ;

那嘉 ;

周传水 ;

向光 ;

王友乐 ;

张玲莉 ;

柯尚文 ;

李隽 ;

康明锋 ;

范家伟 ;

董永亮 .

中国专利 :CN108530055A ,2018-09-14

[8]

一种ITO靶材的常压烧结方法 [P].

王凯 ;

黄誓成 ;

农浩 ;

莫斌 ;

韦林超 ;

张倍维 ;

谭泽旦 .

中国专利 :CN115677361A ,2023-02-03

[9]

一种ITO旋转靶材烧结防护装置 [P].

张启华 ;

代立鑫 ;

姚远 .

中国专利 :CN220322035U ,2024-01-09

[10]

一种ITO靶材烧结炉气氛控制系统 [P].

徐涛 ;

高建成 ;

汪强 ;

张莉兰 ;

钟小华 .

中国专利 :CN117663795A ,2024-03-08

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