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步进炉用步进装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201721032035.9
申请日：
2017-08-17
公开(公告)号：
CN207280186U
公开(公告)日：
2018-04-27
发明(设计)人：
张春利
陈霞
申请人：
申请人地址：
201401 上海市奉贤区南桥镇西闸公路文怡花园91号501
IPC主分类号：
F27B930
IPC分类号：
代理机构：
北京思创大成知识产权代理有限公司 11614
代理人：
张清芳
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-04-27 | 授权 | 授权 |
| 2021-07-30 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):F27B 9/30 申请日:20170817 授权公告日:20180427 终止日期:20200817 |