外延生长方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510131615.9

申请日：

2005-12-15

公开(公告)号：

CN1812053A

公开(公告)日：

2006-08-02

发明(设计)人：

朴性秀

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

H01L2120

IPC分类号：

C30B2502

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

李晓舒;魏晓刚

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-09-10	授权	授权
2006-09-27	实质审查的生效	实质审查的生效
2011-01-05	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101059894785 IPC(主分类):H01L 21/20 专利号:ZL2005101316159 变更事项:专利权人变更前:三星康宁精密琉璃株式会社变更后:三星康宁精密素材株式会社变更事项:地址变更前:韩国庆尚北道龟尾市变更后:韩国庆尚北道
2006-08-02	公开	公开
2017-02-01	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101700607678 IPC(主分类):H01L 21/20 专利号:ZL2005101316159 申请日:20051215 授权公告日:20080910 终止日期:20151215

共 50 条

[1]

外延生长方法 [P].

朴性秀 .

中国专利 :CN1832110A ,2006-09-13

[2]

外延生长基座与外延生长方法 [P].

石桥昌幸 ;

J·F·克鲁格 ;

土肥敬幸 ;

堀江大造 ;

藤川孝 .

中国专利 :CN1526158A ,2004-09-01

[3]

外延生长装置和外延生长方法 [P].

费璐 ;

林志鑫 ;

曹共柏 ;

王华杰 ;

董晨华 ;

季文明 .

中国专利 :CN110685009A ,2020-01-14

[4]

外延生长方法及外延生长装置 [P].

刘晨阳 ;

王力 .

中国专利 :CN119640396A ,2025-03-18

[5]

外延生长设备及外延生长方法 [P].

胡彬 ;

王朋 ;

段焕涛 ;

李文 .

中国专利 :CN118166419A ,2024-06-11

[6]

外延生长方法及外延生长装置、外延设备 [P].

梁鹏欢 .

中国专利 :CN119685923A ,2025-03-25

[7]

外延生长方法及外延生长装置、外延设备 [P].

梁鹏欢 .

中国专利 :CN118814269A ,2024-10-22

[8]

多次外延生长方法 [P].

吴琼 ;

乔春羽 ;

王刚宁 ;

周立超 ;

叶逸舟 .

中国专利 :CN103187250A ,2013-07-03

[9]

基座、外延生长装置及外延生长方法 [P].

梁鹏欢 .

中国专利 :CN118996624A ,2024-11-22

[10]

外延生长方法以及外延生长用衬底 [P].

中村正志 ;

栗田英树 .

中国专利 :CN100401482C ,2005-12-14

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