电镀液和使用该电镀液的铜沉积方法

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专利类型
发明
申请号
CN200510087510.8
申请日
2005-07-20
公开(公告)号
CN1733978B
公开(公告)日
2006-02-15
发明(设计)人
D·王 R·D·米克拉 C·吴 G·G·巴克利
申请人
申请人地址
美国马萨诸塞州
IPC主分类号
C25D338
IPC分类号
代理机构
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人
朱黎明
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种电镀液及使用该电镀液的电镀方法 [P]. 
赵敬棋 ;
胡秀萍 .
中国专利 :CN101608324A ,2009-12-23
[2]
电镀液和电镀方法 [P]. 
Z·I·尼亚齐比托瓦 ;
M·A·热兹尼克 .
中国专利 :CN102953097B ,2013-03-06
[3]
Sn-B电镀液以及使用该电镀液的电镀方法 [P]. 
李东宁 ;
金相范 ;
姜奎植 .
中国专利 :CN101595248B ,2009-12-02
[4]
一种电镀液及使用该电镀液的电镀方法 [P]. 
李慧杰 ;
罗鹏 ;
赵桂网 ;
李爱华 .
中国专利 :CN102234826B ,2011-11-09
[5]
铜电镀液 [P]. 
邱永华 .
中国专利 :CN104962960A ,2015-10-07
[6]
电镀液及电镀方法 [P]. 
Z·I·尼亚齐比托瓦 ;
E·H·纳贾尔 ;
M·A·热兹尼科 ;
E·雷丁顿 .
中国专利 :CN102888629B ,2013-01-23
[7]
电镀液及电镀方法 [P]. 
Z·I·尼亚齐比托瓦 ;
E·H·纳贾尔 ;
M·A·热兹尼科 ;
E·雷丁顿 .
中国专利 :CN102250319A ,2011-11-23
[8]
铜电镀液以及电镀铜的方法 [P]. 
齐藤睦子 ;
酒井诚 ;
森永俊幸 ;
林慎二朗 .
中国专利 :CN103184489A ,2013-07-03
[9]
用于无电铜沉积的电镀液 [P]. 
耶兹迪·多尔迪 ;
威廉·蒂 ;
阿尔及尔达斯·瓦斯凯利斯 ;
尤金尼厄斯·诺尔库斯 ;
简·翟希欧斯科因 .
中国专利 :CN101484951A ,2009-07-15
[10]
使电镀液再生的方法、电镀方法和电镀装置 [P]. 
坂野龙也 ;
后藤胜博 ;
金泽统广 .
中国专利 :CN103917691B ,2014-07-09