一种微机械梳齿电容器

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200910237505.9
申请日
2009-11-17
公开(公告)号
CN102064021A
公开(公告)日
2011-05-18
发明(设计)人
郭中洋 杨振川 闫桂珍
申请人
申请人地址
100871 北京市海淀区颐和园路5号
IPC主分类号
H01G540
IPC分类号
H01G5019 B81B702
代理机构
北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319
代理人
苏培华
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
横向驱动微机械式可变电容器 [P]. 
刘清惓 ;
黄庆安 .
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液态微机电系统电容器 [P]. 
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仓贯正明 ;
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[10]
电容器 [P]. 
V·盖特纳 ;
M·施托伊克 .
中国专利 :CN115132491A ,2022-09-30