一种带升降真空爪的六自由度微动台

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320346617.X

申请日：

2013-06-17

公开(公告)号：

CN203365915U

公开(公告)日：

2013-12-25

发明(设计)人：

张鸣朱煜刘召成荣杨开明徐登峰张利赵彦坡秦慧超胡清平田丽叶伟楠张金尹文生穆海华胡金春

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

邸更岩

法律状态：

避免重复授权放弃专利权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-07-22	避免重复授权放弃专利权	避免重复授权放弃专利权号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101718255490 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL201320346617X 申请日:20130617 授权公告日:20131225 放弃生效日:20150722
2013-12-25	授权	授权

共 50 条

[1]

一种带升降真空爪的六自由度微动台 [P].

张鸣 ;

朱煜 ;

刘召 ;

成荣 ;

杨开明 ;

徐登峰 ;

张利 ;

赵彦坡 ;

秦慧超 ;

胡清平 ;

田丽 ;

叶伟楠 ;

张金 ;

尹文生 ;

穆海华 ;

胡金春 .

中国专利 :CN103309176A ,2013-09-18

[2]

一种带真空抓取抬升机构的六自由度微动台 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

成荣 ;

杨开明 ;

刘召 ;

刘昊 ;

徐登峰 ;

张利 ;

赵彦坡 ;

田丽 ;

叶伟楠 ;

张金 ;

胡金春 ;

穆海华 ;

尹文生 ;

秦慧超 ;

胡清平 .

中国专利 :CN203365913U ,2013-12-25

[3]

一种带自动抓取抬升机构的六自由度微动台 [P].

成荣 ;

朱煜 ;

张鸣 ;

刘召 ;

杨开明 ;

徐登峰 ;

田丽 ;

张利 ;

秦慧超 ;

叶伟楠 ;

张金 ;

穆海华 ;

尹文生 ;

胡金春 ;

赵彦坡 ;

胡清平 .

中国专利 :CN203365914U ,2013-12-25

[4]

一种六自由度微动工作台 [P].

张鸣 ;

朱煜 ;

田丽 ;

张利 ;

秦慧超 ;

王平安 ;

刘召 ;

杨开明 ;

徐登峰 ;

胡金春 ;

尹文生 .

中国专利 :CN102880009A ,2013-01-16

[5]

一种六自由度磁浮微动台 [P].

陈学东 ;

汪洋 ;

张航宇 .

中国专利 :CN102681364B ,2012-09-19

[6]

六自由度微动台 [P].

王天明 ;

袁志扬 ;

严天宏 .

中国专利 :CN101290476A ,2008-10-22

[7]

一种六自由度磁浮微动台 [P].

谭久彬 ;

杨远源 ;

王雷 .

中国专利 :CN103048891B ,2013-04-17

[8]

一种六自由度微动台 [P].

张雪鹏 ;

郭同健 ;

姜鹏 ;

杨金河 ;

王强龙 .

中国专利 :CN118848898A ,2024-10-29

[9]

一种6自由度微动工作台 [P].

朱煜 ;

汪劲松 ;

张鸣 ;

李广 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

段广洪 ;

贾松涛 .

中国专利 :CN101078889A ,2007-11-28

[10]

一种超薄3自由度微动工作台 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

李广 ;

尹文生 ;

徐登峰 .

中国专利 :CN100470378C ,2007-11-21

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