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一种碳化硅晶体抛光盘
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN201721457429.9
申请日
:
2017-11-06
公开(公告)号
:
CN207373002U
公开(公告)日
:
2018-05-18
发明(设计)人
:
林武庆
申请人
:
申请人地址
:
362211 福建省泉州市晋江市陈埭镇江浦社区企业运营中心大厦
IPC主分类号
:
B24D710
IPC分类号
:
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2018-05-18
授权
授权
共 50 条
[1]
一种碳化硅晶体炉
[P].
李晓萍
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李晓萍
;
张子轩
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张子轩
;
刘洋
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刘洋
;
薛飞
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薛飞
.
中国专利
:CN217399047U
,2022-09-09
[2]
碳化硅晶体及碳化硅晶片
[P].
林钦山
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0
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机构:
环球晶圆股份有限公司
环球晶圆股份有限公司
林钦山
.
中国专利
:CN117364247A
,2024-01-09
[3]
一种碳化硅晶体生长用的碳化硅籽晶
[P].
陶莹
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陶莹
;
邓树军
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邓树军
;
高宇
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高宇
;
段聪
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段聪
;
赵梅玉
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赵梅玉
.
中国专利
:CN203065637U
,2013-07-17
[4]
一种制备碳化硅晶体的方法及碳化硅晶体
[P].
王明华
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机构:
乾晶半导体(衢州)有限公司
乾晶半导体(衢州)有限公司
王明华
;
曾志鹏
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机构:
乾晶半导体(衢州)有限公司
乾晶半导体(衢州)有限公司
曾志鹏
.
中国专利
:CN117385467A
,2024-01-12
[5]
一种碳化硅晶体的制备方法及碳化硅晶体
[P].
方政
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机构:
中电化合物半导体有限公司
中电化合物半导体有限公司
方政
;
马远
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机构:
中电化合物半导体有限公司
中电化合物半导体有限公司
马远
;
潘尧波
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机构:
中电化合物半导体有限公司
中电化合物半导体有限公司
潘尧波
;
薛卫明
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机构:
中电化合物半导体有限公司
中电化合物半导体有限公司
薛卫明
.
中国专利
:CN120485956A
,2025-08-15
[6]
一种制备碳化硅晶体的方法及碳化硅晶体
[P].
王明华
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机构:
乾晶半导体(衢州)有限公司
乾晶半导体(衢州)有限公司
王明华
;
曾志鹏
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机构:
乾晶半导体(衢州)有限公司
乾晶半导体(衢州)有限公司
曾志鹏
.
中国专利
:CN117385467B
,2024-02-13
[7]
碳化硅晶体的制造方法、碳化硅晶体及碳化硅晶体的制造装置
[P].
西口太郎
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西口太郎
.
中国专利
:CN102471930A
,2012-05-23
[8]
制造碳化硅晶体的方法以及碳化硅晶体
[P].
西口太郎
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西口太郎
.
中国专利
:CN102575383A
,2012-07-11
[9]
碳化硅晶体和制造碳化硅晶体的方法
[P].
佐佐木信
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佐佐木信
.
中国专利
:CN102597339A
,2012-07-18
[10]
碳化硅晶体及碳化硅晶种片
[P].
余文怀
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余文怀
;
刘建成
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刘建成
;
林钦山
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林钦山
;
李依晴
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李依晴
.
中国专利
:CN112048768A
,2020-12-08
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