一种环境传感器、集成装置及其制造方法

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专利类型
发明
申请号
CN201610105071.7
申请日
2016-02-25
公开(公告)号
CN105609501A
公开(公告)日
2016-05-25
发明(设计)人
张俊德
申请人
申请人地址
261031 山东省潍坊市高新技术开发区东方路268号
IPC主分类号
H01L2708
IPC分类号
H01L21822
代理机构
北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442
代理人
王昭智;马佑平
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种环境传感器、集成装置 [P]. 
张俊德 .
中国专利 :CN205508820U ,2016-08-24
[2]
一种环境传感器及其制造方法 [P]. 
周宗燐 ;
詹竣凯 ;
邱冠勋 ;
蔡孟锦 .
中国专利 :CN106092153A ,2016-11-09
[3]
一种环境传感器及其制造方法 [P]. 
詹竣凯 ;
蔡孟锦 .
中国专利 :CN105371878B ,2016-03-02
[4]
MEMS麦克风与环境传感器的集成装置及其制造方法 [P]. 
周宗燐 ;
蔡孟锦 .
中国专利 :CN106535071A ,2017-03-22
[5]
传感器集成芯片及其制造方法 [P]. 
蔡春华 ;
赵成龙 ;
万蔡辛 ;
何政达 ;
蒋樱 .
中国专利 :CN113776721B ,2024-06-07
[6]
传感器集成芯片及其制造方法 [P]. 
蔡春华 ;
赵成龙 ;
万蔡辛 ;
何政达 ;
蒋樱 .
中国专利 :CN113776721A ,2021-12-10
[7]
一种光谱传感器及其集成制造方法 [P]. 
刘红超 .
中国专利 :CN104457993A ,2015-03-25
[8]
MEMS惯性传感器、湿度传感器集成装置及其制造方法 [P]. 
郑国光 .
中国专利 :CN105115540B ,2015-12-02
[9]
露点传感器及其制造方法 [P]. 
陈志 .
中国专利 :CN104048994B ,2014-09-17
[10]
一种多效应检测集成气体传感器制造方法的制造方法、传感器及其应用 [P]. 
安文斗 ;
张洪泉 ;
张凯 .
中国专利 :CN108732212A ,2018-11-02