一种进气结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110345338.7

申请日：

2011-11-04

公开(公告)号：

CN102420120A

公开(公告)日：

2012-04-18

发明(设计)人：

席峰胡冬冬刘训春李勇滔李楠张庆钊夏洋

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

H01L213065

IPC分类号：

H01L2167 C23C16455

代理机构：

北京市德权律师事务所 11302

代理人：

刘丽君

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-08-03	授权	授权
2013-02-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101401520305 IPC(主分类):H01L 21/3065 专利申请号:2011103453387 申请日:20111104
2012-04-18	公开	公开

共 50 条

[1]

一种用于进气结构的匀气盘 [P].

李楠 ;

席峰 ;

李勇滔 ;

张庆钊 ;

夏洋 .

中国专利 :CN102437002B ,2012-05-02

[2]

一种新型匀气结构 [P].

李楠 ;

席峰 ;

李勇滔 ;

张庆钊 ;

夏洋 .

中国专利 :CN102424955A ,2012-04-25

[3]

一种进气结构 [P].

关杰超 .

中国专利 :CN217852459U ,2022-11-22

[4]

一种进气结构及等离子刻蚀设备 [P].

吴堃 ;

杨猛 .

中国专利 :CN111430213B ,2025-05-30

[5]

一种进气结构及等离子刻蚀设备 [P].

吴堃 ;

杨猛 .

中国专利 :CN111430213A ,2020-07-17

[6]

一种进气结构及等离子刻蚀设备 [P].

吴堃 ;

杨猛 .

中国专利 :CN211907380U ,2020-11-10

[7]

进气结构 [P].

樊福周 ;

董新年 ;

刘晓猛 ;

闫恒娜 ;

任艺炜 ;

杨通 ;

杨龙刚 ;

王伟 ;

李晓童 ;

钟国扬 ;

刘东 ;

徐雄威 ;

李波涛 ;

王志磊 .

中国专利 :CN208651010U ,2019-03-26

[8]

进气结构 [P].

乔基奥·基隆迪 .

中国专利 :CN120231672A ,2025-07-01

[9]

进气结构 [P].

乔基奥·基隆迪 .

中国专利 :CN221610086U ,2024-08-27

[10]

一种废气进气结构 [P].

刘峰 .

中国专利 :CN218111360U ,2022-12-23

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