碱性蚀刻液循环再生设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210304522.1

申请日：

2012-08-24

公开(公告)号：

CN103628070A

公开(公告)日：

2014-03-12

发明(设计)人：

韦建敏赵兴文张小波吴圣杰

申请人：

申请人地址：

610000 四川省成都市高新区西芯大道4号

IPC主分类号：

C23F146

IPC分类号：

代理机构：

成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220

代理人：

谢敏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-03-12	公开	公开
2014-04-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581317589 IPC(主分类):C23F 1/46 专利申请号:2012103045221 申请日:20120824
2016-10-19	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101740243045 IPC(主分类):C23F 1/46 专利申请号:2012103045221 申请公布日:20140312

共 50 条

[1]

碱性蚀刻液循环再生设备 [P].

韦建敏 ;

赵兴文 ;

张小波 ;

吴圣杰 .

中国专利 :CN202705484U ,2013-01-30

[2]

碱性蚀刻液循环再生系统 [P].

韦建敏 ;

赵兴文 ;

张小波 ;

吴圣杰 .

中国专利 :CN202705485U ,2013-01-30

[3]

碱性蚀刻液循环再生系统 [P].

杨伟洋 .

中国专利 :CN209873109U ,2019-12-31

[4]

碱性蚀刻液循环再生系统 [P].

韦建敏 ;

赵兴文 ;

张小波 ;

吴圣杰 .

中国专利 :CN103628069A ,2014-03-12

[5]

一种碱性蚀刻液循环再生设备 [P].

陈石头 .

中国专利 :CN211771562U ,2020-10-27

[6]

碱性蚀刻液循环再生系统 [P].

宋国和 .

中国专利 :CN108301000A ,2018-07-20

[7]

碱性蚀刻液循环再生系统 [P].

梁民 .

中国专利 :CN208201129U ,2018-12-07

[8]

碱性蚀刻液循环再生系统 [P].

韦建敏 .

中国专利 :CN202440550U ,2012-09-19

[9]

碱性蚀刻液循环再生系统 [P].

董李刚 ;

樊新林 ;

秦枭龙 .

中国专利 :CN218474951U ,2023-02-14

[10]

碱性蚀刻液循环再生系统 [P].

宋国和 .

中国专利 :CN206736360U ,2017-12-12

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