一种掩模台工作台

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210371884.2

申请日：

2012-09-28

公开(公告)号：

CN102880013B

公开(公告)日：

2013-01-16

发明(设计)人：

朱煜张鸣刘召许岩张金田丽王婧杨开明徐登峰胡金春尹文生穆海华

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

邸更岩

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-02-18	授权	授权
2013-01-16	公开	公开
2015-12-02	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101724410278 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2012103718842 登记生效日:20151110 变更事项:专利权人变更前权利人:清华大学变更后权利人:清华大学变更事项:地址变更前权利人:100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室变更后权利人:100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室变更事项:专利权人变更前权利人:无变更后权利人:北京华卓精科科技股份有限公司
2013-02-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101401520924 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2012103718842 申请日:20120928

共 50 条

[1]

掩模工作台冷却装置 [P].

阮春军 ;

骆建钢 .

中国专利 :CN222653252U ,2025-03-21

[2]

分度工作台 [P].

鲁永进 .

中国专利 :CN102950470A ,2013-03-06

[3]

夏仁豪 .

中国专利 :CN305970441S ,2020-08-07

[4]

林秉敬 .

中国专利 :CN306718529S ,2021-07-30

[5]

杨群 ;

周志伟 ;

黄政 ;

陈才伟 ;

何建涛 ;

李秋霞 ;

尹建刚 ;

高云峰 .

中国专利 :CN211680580U ,2020-10-16

[6]

倪道宏 ;

柴继涛 ;

张镇 ;

景文 ;

姚久明 ;

陈万才 ;

石磊 .

中国专利 :CN102975182A ,2013-03-20

[7]

姜丽霞 ;

贾顺顺 .

中国专利 :CN308808673S ,2024-08-30

[8]

苏川翔 ;

单文超 ;

陈子奇 ;

徐龙军 ;

田鑫 ;

金明睿 ;

刘保健 ;

李明扬 ;

蔡正年 ;

梁静玉 ;

张时雨 .

中国专利 :CN305122700S ,2019-04-23

[9]

张正峰 ;

章力 ;

章谦 ;

陈天歌 .

中国专利 :CN203345746U ,2013-12-18

[10]

倪道宏 ;

柴继涛 ;

张镇 ;

景文 ;

姚久明 ;

陈万才 ;

石磊 .

中国专利 :CN202910837U ,2013-05-01

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