肖特基接触型ZnO纳米阵列紫外光探测器件的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110004415.2

申请日：

2011-01-10

公开(公告)号：

CN102142482A

公开(公告)日：

2011-08-03

发明(设计)人：

张跃林伟花闫小琴张晓梅秦子张铮

申请人：

申请人地址：

100083 北京市海淀区学院路30号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L31108 H01L310224 B81C100

代理机构：

北京东方汇众知识产权代理事务所(普通合伙) 11296

代理人：

刘淑芬

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-08-03	公开	公开
2017-03-01	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101706026439 IPC(主分类):H01L 31/18 专利号:ZL2011100044152 申请日:20110110 授权公告日:20120725 终止日期:20160110
2012-07-25	授权	授权
2011-09-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101113520596 IPC(主分类):H01L 31/18 专利申请号:2011100044152 申请日:20110110

共 50 条

[1]

ZnO/纳米金刚石共面栅紫外光探测器的制备方法 [P].

王林军 ;

赖建明 ;

黄健 ;

唐可 ;

管玉兰 ;

夏义本 .

中国专利 :CN101325227A ,2008-12-17

[2]

紫外光探测器的制备方法 [P].

王林军 ;

夏义本 ;

马莹 ;

苏青峰 ;

刘健敏 .

中国专利 :CN100409460C ,2006-12-06

[3]

一种高灵敏的ZnO/AlN核鞘纳米棒阵列紫外光探测器及其制备方法 [P].

徐春祥 ;

游道通 ;

石增良 ;

秦飞飞 .

中国专利 :CN107845700A ,2018-03-27

[4]

Cu/CuI/ZnO结构的紫外光探测器及其制备方法 [P].

李谊 ;

孙志鹏 ;

韩笑 ;

吴雪卫 ;

周伟欣 ;

陈剑宇 ;

马延文 .

中国专利 :CN108649094B ,2018-10-12

[5]

一种ZnO纳米阵列紫外探测器及其制作方法 [P].

张跃 ;

衣芳 ;

廖庆亮 ;

黄运华 ;

闫小琴 .

中国专利 :CN103441154B ,2013-12-11

[6]

钛锆氧化物固溶体纳米线阵列紫外光探测器及其制备方法 [P].

阮圣平 ;

张敏 ;

张海峰 ;

刘彩霞 ;

冯彩慧 ;

周敬然 ;

陈维友 .

中国专利 :CN102437229A ,2012-05-02

[7]

ZnO金属肖特基接触的制备方法及其在紫外探测器中的应用 [P].

张天冲 ;

梅增霞 ;

郑浩 ;

杜小龙 ;

薛其坤 ;

罗强 ;

顾长志 .

中国专利 :CN101030533A ,2007-09-05

[8]

紫外光探测器及制备方法 [P].

刘兴钊 ;

王思杰 ;

任羿烜 ;

令康 .

中国专利 :CN114864732A ,2022-08-05

[9]

一种ZnO纳米线栅极HEMT紫外光探测器 [P].

朱彦旭 ;

谭张杨 ;

李建伟 ;

李晋恒 ;

宋潇萌 .

中国专利 :CN114597282A ,2022-06-07

[10]

GaN基纳米柱阵列紫外光探测器外延片及其制备方法 [P].

宋世金 ;

苑汇帛 ;

郑鑫 ;

张健 .

中国专利 :CN117690990A ,2024-03-12

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