制备三氯氢硅的方法及其设备

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201310389455.2
申请日
2013-08-30
公开(公告)号
CN103449449A
公开(公告)日
2013-12-18
发明(设计)人
张志刚 严大洲 杨永亮 肖荣晖 汤传斌
申请人
申请人地址
100038 北京市海淀区复兴路12号
IPC主分类号
C01B33107
IPC分类号
代理机构
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201
代理人
宋合成
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
用于制备三氯氢硅的设备 [P]. 
张志刚 ;
严大洲 ;
杨永亮 ;
肖荣晖 ;
汤传斌 .
中国专利 :CN203498102U ,2014-03-26
[2]
利用制备三氯氢硅的装置制备三氯氢硅的方法 [P]. 
司文学 ;
严大洲 ;
肖荣晖 ;
汤传斌 ;
杨永亮 .
中国专利 :CN104140104A ,2014-11-12
[3]
制备三氯氢硅的方法及系统 [P]. 
武珠峰 ;
宋高杰 ;
夏进京 ;
刘兴平 ;
吴昌勇 ;
马金杉 ;
潘从伟 .
中国专利 :CN113387361A ,2021-09-14
[4]
一种制备三氯氢硅的工艺和系统 [P]. 
东晓庚 ;
周玲英 ;
邱成武 .
中国专利 :CN107572534B ,2018-01-12
[5]
用于制备二氯二氢硅的设备 [P]. 
司文学 ;
严大洲 ;
肖荣晖 ;
汤传斌 ;
杨永亮 .
中国专利 :CN103408025B ,2013-11-27
[6]
用于制备二氯二氢硅的设备 [P]. 
司文学 ;
严大洲 ;
肖荣晖 ;
汤传斌 ;
杨永亮 .
中国专利 :CN203820468U ,2014-09-10
[7]
制备三氯氢硅的装置 [P]. 
秦渊博 ;
蒯伟 ;
赵亚文 ;
宋安宁 ;
曹奇刚 ;
刘佳 .
中国专利 :CN104045087B ,2014-09-17
[8]
提纯三氯氢硅的方法 [P]. 
刘见华 ;
赵雄 ;
万烨 ;
严大洲 ;
赵宇 ;
常欣 .
中国专利 :CN108892143A ,2018-11-27
[9]
三氯氢硅的制造方法 [P]. 
陈其国 ;
陈文龙 .
中国专利 :CN101759189A ,2010-06-30
[10]
利用反歧化反应制备三氯氢硅的工艺 [P]. 
蒯伟 ;
宋安宁 ;
秦渊博 ;
臧国良 ;
赵亚文 .
中国专利 :CN104045086A ,2014-09-17