一种抛光液配置装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921459628.2

申请日：

2019-09-04

公开(公告)号：

CN210815033U

公开(公告)日：

2020-06-23

发明(设计)人：

祝斌武卫孙晨光刘建伟由佰玲刘园谢艳杨春雪刘秒常雪岩裴坤羽吕莹徐荣清

申请人：

申请人地址：

300384 天津市滨海新区华苑产业区（环外）海泰东路12号

IPC主分类号：

B01F1310

IPC分类号：

B01F1500 B01F1502 B01F322 B24B5702

代理机构：

天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213

代理人：

栾志超

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-23	授权	授权
2022-05-13	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):B01F 13/10 登记生效日:20220505 变更事项:专利权人变更前权利人:天津中环领先材料技术有限公司变更后权利人:天津中环领先材料技术有限公司变更事项:地址变更前权利人:300384 天津市滨海新区华苑产业区（环外）海泰东路12号变更后权利人:300384 天津市滨海新区华苑产业园区（环外）海泰东路12号变更事项:专利权人变更后权利人:中环领先半导体材料有限公司

共 50 条

[1]

一种抛光液配置装置及其控制方法 [P].

祝斌 ;

武卫 ;

孙晨光 ;

刘建伟 ;

由佰玲 ;

刘园 ;

谢艳 ;

杨春雪 ;

刘秒 ;

常雪岩 ;

裴坤羽 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN110449081A ,2019-11-15

[2]

一种抛光液配置装置 [P].

常磊 ;

付素荣 ;

王松娟 ;

汪静 .

中国专利 :CN214210217U ,2021-09-17

[3]

一种抛光液配置装置 [P].

陈琳 ;

张明文 ;

潘永志 ;

龙洪波 ;

陈坚 .

中国专利 :CN110681303A ,2020-01-14

[4]

一种氧化硅抛光液配置装置 [P].

何伟东 ;

阳震 ;

王田军 .

中国专利 :CN206325500U ,2017-07-14

[5]

一种金属抛光液用配置装置 [P].

伊观兰 .

中国专利 :CN212142303U ,2020-12-15

[6]

一种充分搅拌抛光液配置装置 [P].

伊观兰 .

中国专利 :CN211026063U ,2020-07-17

[7]

一种去除抛光液箱内抛光液结晶沉积的装置及有蜡抛光机 [P].

王维师 ;

陈达 ;

尹文宝 ;

王锴 ;

濮达明 ;

殷磊 ;

韩佳旭 ;

翟煜前 ;

黄思涛 ;

菅明辉 .

中国专利 :CN223670975U ,2025-12-16

[8]

一种抛光液回收装置 [P].

祝斌 ;

武卫 ;

孙晨光 ;

刘建伟 ;

由佰玲 ;

刘园 ;

谢艳 ;

杨春雪 ;

刘秒 ;

常雪岩 ;

裴坤羽 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN210819020U ,2020-06-23

[9]

氧化铝抛光液配置装置 [P].

董云娜 .

中国专利 :CN205613356U ,2016-10-05

[10]

一种氧化锆抛光液配置装置 [P].

王军强 .

中国专利 :CN210186945U ,2020-03-27

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