基于微机电系统的射频螺线管微电感的制作方法

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专利类型
发明
申请号
CN200510029318.3
申请日
2005-09-01
公开(公告)号
CN1767098A
公开(公告)日
2006-05-03
发明(设计)人
周勇 王西宁 赵小林 曹莹 高孝裕
申请人
申请人地址
200240上海市闵行区东川路800号
IPC主分类号
H01F4100
IPC分类号
H01L2102 B81B100
代理机构
上海交达专利事务所
代理人
王锡麟;王桂忠
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
基于微机电系统的射频螺线管微电感 [P]. 
周勇 ;
王西宁 ;
赵小林 ;
曹莹 ;
高孝裕 .
中国专利 :CN1767091A ,2006-05-03
[2]
空芯结构射频螺线管微电感的制作方法 [P]. 
周勇 ;
王西宁 ;
赵小林 ;
曹莹 ;
高孝裕 .
中国专利 :CN100536045C ,2006-05-03
[3]
非晶FeCuNbCrSiB薄膜螺线管微电感器件的制作方法 [P]. 
周勇 ;
丁文 .
中国专利 :CN100485834C ,2006-08-02
[4]
微机电系统磁芯螺线管微电感器件的制备方法 [P]. 
周勇 ;
高孝裕 ;
周海涛 ;
陈吉安 .
中国专利 :CN1260749C ,2005-01-12
[5]
空芯结构射频螺线管微电感 [P]. 
周勇 ;
王西宁 ;
赵小林 ;
曹莹 ;
高孝裕 .
中国专利 :CN1767090A ,2006-05-03
[6]
基于非晶FeCuNbCrSiB磁性薄膜的螺线管微电感器件的制作方法 [P]. 
周勇 ;
丁文 .
中国专利 :CN100530462C ,2006-08-02
[7]
一种微机电系统螺线管电感的制备方法 [P]. 
李修函 ;
邵际南 ;
舒光华 .
中国专利 :CN101599425B ,2009-12-09
[8]
软磁合金薄带磁芯螺线管微电感器件的制备方法 [P]. 
周勇 ;
雷冲 ;
周庆华 .
中国专利 :CN101656147A ,2010-02-24
[9]
基于非晶FeCuNbCrSiB磁性薄膜的螺线管微电感器件 [P]. 
周勇 ;
丁文 .
中国专利 :CN1812011A ,2006-08-02
[10]
半导体螺线管电感及其制作方法 [P]. 
陈华伦 ;
陈瑜 ;
熊涛 ;
罗啸 ;
陈雄斌 .
中国专利 :CN101740195A ,2010-06-16