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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-08-03 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101094137189 IPC(主分类):H01L 21/673 专利申请号:2009801293721 申请日:20090528 |
| 2016-10-19 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101740243150 IPC(主分类):H01L 21/673 专利申请号:2009801293721 申请公布日:20110622 |
| 2012-10-24 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101456938254 IPC(主分类):H01L 21/673 专利申请号:2009801293721 变更事项:申请人 变更前权利人:波利-弗洛工程有限公司 变更后权利人:空气制品及化学品有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:美国阿尔伯克基 变更后权利人:美国特拉华州 登记生效日:20120917 |
| 2011-06-22 | 公开 | 公开 |