多晶硅制造用反应炉、多晶硅制造装置、多晶硅的制造方法、以及多晶硅棒或多晶硅块

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201580044611.9
申请日
2015-07-29
公开(公告)号
CN106573784B
公开(公告)日
2017-04-19
发明(设计)人
祢津茂义 星野成大 冈田哲郎 齐藤弘
申请人
申请人地址
日本东京都
IPC主分类号
C01B33035
IPC分类号
代理机构
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219
代理人
鲁雯雯;金龙河
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
多晶硅制造用反应炉、多晶硅制造装置、多晶硅的制造方法、以及多晶硅棒或多晶硅块 [P]. 
祢津茂义 ;
星野成大 ;
冈田哲郎 ;
齐藤弘 .
中国专利 :CN111153407A ,2020-05-15
[2]
多晶硅棒的制造方法、多晶硅棒及多晶硅块 [P]. 
宫尾秀一 ;
冈田淳一 ;
祢津茂义 .
中国专利 :CN106414325A ,2017-02-15
[3]
多晶硅棒的制造方法、多晶硅棒及多晶硅块 [P]. 
宫尾秀一 ;
冈田淳一 ;
祢津茂义 .
中国专利 :CN110482555A ,2019-11-22
[4]
多晶硅制造装置以及多晶硅 [P]. 
冈田哲郎 ;
星野成大 ;
石田昌彦 .
中国专利 :CN111560650A ,2020-08-21
[5]
多晶硅棒的制造方法、多晶硅棒及多晶硅块 [P]. 
宫尾秀一 ;
冈田淳一 ;
祢津茂义 .
中国专利 :CN110481830A ,2019-11-22
[6]
多晶硅制造用反应炉、多晶硅制造系统及多晶硅的制造方法 [P]. 
祢津茂义 ;
小黑晓二 ;
清水孝明 ;
黑泽靖志 ;
久米史高 .
中国专利 :CN102498065B ,2012-06-13
[7]
多晶硅的制造方法、多晶硅的制造装置、和多晶硅 [P]. 
漆原诚 ;
水岛一树 .
中国专利 :CN101956232B ,2011-01-26
[8]
多晶硅制造系统、多晶硅制造装置及多晶硅的制造方法 [P]. 
祢津茂义 ;
小黑晓二 ;
清水孝明 ;
黑泽靖志 ;
久米史高 .
中国专利 :CN102498063A ,2012-06-13
[9]
多晶硅制造装置以及多晶硅制造方法 [P]. 
大久保秀一 ;
山口雅嗣 .
中国专利 :CN103153856A ,2013-06-12
[10]
多晶硅制造用反应炉及多晶硅的制造方法 [P]. 
黑泽靖志 ;
祢津茂义 ;
星野成大 .
中国专利 :CN107848810B ,2018-03-27