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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-01-30 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101507802667 IPC(主分类):C23C 14/56 专利号:ZL2010202045165 变更事项:专利权人 变更前权利人:深圳中南光电技术装备有限公司 变更后权利人:深圳新南亚技术开发有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:518000 广东省深圳市福田区八卦四路技术中心大楼909室 变更后权利人:518029 广东省深圳市福田区八卦四路先科大院内光盘厂三层东侧 登记生效日:20121227 |
| 2011-01-19 | 授权 | 授权 |
| 2020-10-13 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/56 申请日:20100526 授权公告日:20110119 终止日期:20190526 |
| 2020-05-12 | 文件的公告送达 | 文件的公告送达 IPC(主分类):C23C 14/56 收件人:深圳新南亚技术开发有限公司 文件名称:专利权终止通知书 |