一种铜互连结构及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310235765.9

申请日：

2013-06-15

公开(公告)号：

CN103325769A

公开(公告)日：

2013-09-25

发明(设计)人：

卢红亮朱尚斌孙清清张卫

申请人：

申请人地址：

200433 上海市杨浦区邯郸路220号

IPC主分类号：

H01L23532

IPC分类号：

H01L21768

代理机构：

上海正旦专利代理有限公司 31200

代理人：

陆飞;盛志范

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-09-25	公开	公开
2016-06-08	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101733601226 IPC(主分类):H01L 23/532 专利申请号:2013102357659 申请公布日:20130925
2013-11-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101543923299 IPC(主分类):H01L 23/532 专利申请号:2013102357659 申请日:20130615

共 50 条

[1]

一种铜互连结构及其制备方法 [P].

卢红亮 ;

朱尚斌 ;

张卫 .

中国专利 :CN103681478A ,2014-03-26

[2]

一种铜互连结构及其制备方法 [P].

卢红亮 ;

张卫 ;

谢立恒 ;

丁士进 ;

王鹏飞 .

中国专利 :CN102903699A ,2013-01-30

[3]

铜互连结构及其制备方法 [P].

王德进 ;

周耀辉 .

中国专利 :CN111370363A ,2020-07-03

[4]

一种铜互连结构制备方法 [P].

卢红亮 ;

谢章熠 ;

张卫 .

中国专利 :CN103325729A ,2013-09-25

[5]

一种铜互连结构及其制备方法 [P].

孙祥烈 ;

许静 ;

罗军 ;

赵超 .

中国专利 :CN113380763A ,2021-09-10

[6]

一种铜互连结构及其制备方法 [P].

孟昭生 ;

张显 ;

季明华 .

中国专利 :CN114628319A ,2022-06-14

[7]

一种集成电路铜互连结构及其制备方法 [P].

丁少锋 ;

屈新萍 ;

陈飞 ;

蒋玉龙 ;

茹国平 .

中国专利 :CN102117796A ,2011-07-06

[8]

一种铜互连结构及其制作方法 [P].

朱宝 ;

陈琳 ;

孙清清 ;

张卫 .

中国专利 :CN112018078A ,2020-12-01

[9]

铜互连结构的制备方法 [P].

杨光 ;

何忠义 ;

蒋中伟 ;

王京 ;

周清军 .

中国专利 :CN115036218A ,2022-09-09

[10]

铜互连结构的制备方法 [P].

杨光 ;

何忠义 ;

蒋中伟 ;

王京 ;

周清军 .

中国专利 :CN115036218B ,2024-11-26

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