一种玻璃基板的内部缺陷在线检测装置

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专利类型
发明
申请号
CN202010058958.1
申请日
2020-01-18
公开(公告)号
CN111208151B
公开(公告)日
2020-05-29
发明(设计)人
姚云峰
申请人
申请人地址
516000 广东省惠州市惠澳大道惠南高新科技产业园华泰路南路2号科技创业中心CD栋第四层西侧
IPC主分类号
G01N21958
IPC分类号
G01N2101
代理机构
深圳市科冠知识产权代理有限公司 44355
代理人
王海骏
法律状态
专利实施许可合同备案的生效、变更及注销
国省代码
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共 50 条
[1]
玻璃基板的内部缺陷在线检测装置 [P]. 
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[3]
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[7]
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[8]
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